2019年11月19日，《電子工廠特種氣體和化學品配送設(shè)施通用規(guī)范》（“規(guī)范”）研編工作審查驗收會議在上海正帆科技股份有限公司（“正帆科技”）召開，十余家研編單位有關(guān)人員和30位評審專家參加了本次會議，并在會議上審查了規(guī)范的草案、研編工作報告及專題研究報告。

該規(guī)范是由中國電子技術(shù)標準化研究院電子工程標準定額站組織、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司等相關(guān)單位共同研究編制。目前編制完成的規(guī)范主要涉及特氣和化學品配送設(shè)施設(shè)計、配套設(shè)施設(shè)計、施工與驗收、運行與維護、廢棄與拆除等內(nèi)容。正帆科技作為主要參編單位之一，主要完成了特種氣體設(shè)備和輸送系統(tǒng)章節(jié)內(nèi)容的撰寫，得到了中國電子技術(shù)標準化研究院電子工程標準定額站的高度認可。此規(guī)范發(fā)布后將成為泛半導體行業(yè)的氣體化學品輸送系統(tǒng)方面的綜合性指導文件。

深耕中國集成電路、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏、光纖制造以及生物制藥產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域制程關(guān)鍵系統(tǒng)綜合解決方案近20年，正帆科技一直致力于推進行業(yè)相關(guān)規(guī)范和標準的制定，曾參與《電子工程化學品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范GB50781》、《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范GB50646》、《大宗氣體純化輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范GB50724》以及《光纖廠工程技術(shù)規(guī)范GB 50945》等國家標準的起草和制定，填補了國標在此領(lǐng)域的空白，為泛半導體行業(yè)氣體和化學品的安全使用提供了指導和參考標準。

正帆科技將多年工藝應用數(shù)據(jù)庫和項目經(jīng)驗積累納入到規(guī)范的撰寫中，比如高純工藝系統(tǒng)微污染控制技術(shù)，依據(jù)材料科學和表面處理工藝原理，通過對系統(tǒng)設(shè)計、材料選型、設(shè)備制造、現(xiàn)場潔凈環(huán)境、施工工法、質(zhì)量檢驗、設(shè)備測試和調(diào)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的控制，避免配送系統(tǒng)對工藝介質(zhì)帶來二次污染，保障高純氣體和化學品在配送過程中的純度。目前正帆科技的高純配送系統(tǒng)可保障純度為99.9999999% (9N)的氣體和化學品輸送。

此外，特種氣體和化學品輸送系統(tǒng)面對的多數(shù)是易燃、易爆、劇毒、易腐蝕的氣體或者化學品，且工藝過程復雜，易對系統(tǒng)壽命乃至工作人員的生命安全造成威脅。正帆科技在所撰寫的特種氣體設(shè)備和輸送系統(tǒng)章節(jié)中特別強調(diào)了硬件本質(zhì)安全、工藝設(shè)計安全、系統(tǒng)聯(lián)動安全控制、工藝監(jiān)控綜合安全管理等方式共同實現(xiàn)在安全安全保障的重要性。正帆科技通過精密氣體偵測技術(shù)，對排放點及環(huán)境點進行檢測，確保排放和工作環(huán)境氣體指標達到安全要求。系統(tǒng)發(fā)生意外泄漏時監(jiān)控系統(tǒng)可及時報警，自動切斷氣體供應，啟動事故應急反應，確保人員、設(shè)備和環(huán)境安全。

此次審查驗收通過后，《電子工廠特種氣體和化學品配送設(shè)施通用規(guī)范》將被提交住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標準定額司以及工業(yè)和信息化部規(guī)劃司立項，得到批準后將組織該規(guī)范的編寫工作。