正帆科技技術(shù)電子材料研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過(guò)深入研究化學(xué)反應(yīng)和分離純化機(jī)理，并采用工程化技術(shù)對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行放大，掌握了電子材料合成，然后經(jīng)過(guò)催化吸附、高效精餾、膜分離等純化手段有效去除電子材料中有害雜質(zhì)的核心技術(shù)。通過(guò)氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)，確保高純氣體在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中品質(zhì)穩(wěn)定，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工業(yè)要求的99.9999%以上純度。
運(yùn)用合成與分離提純技術(shù)，正帆科技自產(chǎn)的砷烷、磷烷產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)純度≥99.9999%，關(guān)鍵雜質(zhì)含量?jī)?yōu)于《GBT 26250-2010中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體-砷化氫》、《GBT 14851-2009中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體-磷化氫》中的相關(guān)規(guī)定。
正帆科技技術(shù)團(tuán)隊(duì)依據(jù)材料科學(xué)和表面處理工藝原理，通過(guò)對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、材料選型、設(shè)備制造、現(xiàn)場(chǎng)潔凈環(huán)境、施工工法、質(zhì)量檢驗(yàn)、設(shè)備測(cè)試和調(diào)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的控制，避免配送系統(tǒng)對(duì)工藝介質(zhì)帶來(lái)二次污染，保障高純氣體和化學(xué)品在配送過(guò)程中的純度。
正帆科技構(gòu)建了一套認(rèn)證及檢驗(yàn)流程，建立了一套完整的核心材料數(shù)據(jù)庫(kù)，并配備了掃描電鏡、金屬成分光譜檢測(cè)儀、粗糙度檢測(cè)儀等檢測(cè)工具，能夠獨(dú)立對(duì)原材料進(jìn)行材質(zhì)分析、純度測(cè)試、部件性能測(cè)試等，以確保品質(zhì)達(dá)到系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求。
系統(tǒng)微污染控制技術(shù)的實(shí)現(xiàn)是在服務(wù)于客戶(hù)目標(biāo)的前提下，對(duì)具體流程和功能組件不斷優(yōu)化和并對(duì)過(guò)程進(jìn)行完善。
泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)于工藝介質(zhì)的利用率較低，有些制程利用率低于5%，甚至完全不參與化學(xué)反應(yīng)。而多數(shù)工藝介質(zhì)不能直接排入大氣或者市政污水系統(tǒng)，必須進(jìn)行有效的尾氣、廢液和廢水處理。正帆科技開(kāi)發(fā)了廢棄物資源化技術(shù)，采用各種工程技術(shù)方法和管理措施，從廢棄物中回收有用的物質(zhì)和能源。通過(guò)回收廢物內(nèi)高價(jià)值產(chǎn)品，經(jīng)二次純化并循環(huán)使用，可以降低原材料消耗、保障生產(chǎn)安全、同時(shí)避免環(huán)境污染。
正帆科技已自主開(kāi)發(fā)的氦氣再生與循環(huán)利用系統(tǒng)，通過(guò)研究氦氣及相關(guān)組分的物化性質(zhì)，組合使用過(guò)濾、吸附、膜分離等提純方法，在回收率、純度等方面達(dá)到了客戶(hù)滿(mǎn)意的效果。該項(xiàng)技術(shù)不僅幫助客戶(hù)減少了原材料采購(gòu)成本，且一定程度上降低客戶(hù)對(duì)國(guó)外供應(yīng)商的依賴(lài)。
正帆科技采用流程模擬仿真技術(shù)，通過(guò)工程設(shè)計(jì)和軟件編程，對(duì)輸送的高純電子氣體和化學(xué)品的溫度、壓力、流量、濃度、傳熱等參數(shù)進(jìn)行精確動(dòng)態(tài)計(jì)算，模擬現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際運(yùn)行參數(shù)，指導(dǎo)設(shè)備管道設(shè)計(jì)、部件選型、節(jié)能改進(jìn)方向等。
結(jié)合多年工藝應(yīng)用數(shù)據(jù)庫(kù)和項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)積累，并通過(guò)實(shí)踐修正仿真計(jì)算的過(guò)程，提升了仿真的準(zhǔn)確性，使其能夠應(yīng)對(duì)復(fù)雜的流體系統(tǒng)設(shè)計(jì)。正帆科技將流體學(xué)科與工程實(shí)踐相結(jié)合，對(duì)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件和設(shè)備進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化，從而支持氣體、化學(xué)品的穩(wěn)定供應(yīng)，匹配客戶(hù)的具體需求。
針對(duì)特種氣體和化學(xué)品中的有害雜質(zhì)特性，正帆科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了準(zhǔn)確可靠的痕量雜質(zhì)分析方法。利用獨(dú)創(chuàng)的色譜柱填料配方與裝柱工藝，設(shè)計(jì)相對(duì)應(yīng)的進(jìn)樣和吹掃程序，并配套高精度檢測(cè)器，對(duì)電子氣體的微量水分、氧分、顆粒、碳?xì)浠衔锏扔泻﹄s質(zhì)進(jìn)行分析檢測(cè)，為高純電子材料的生產(chǎn)提供保障。
正帆科技已經(jīng)建立了一套完整的分析與檢測(cè)方法，并將該分析檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用于高純特種氣體業(yè)務(wù)中。合肥正帆建立的分析與檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室，從高純?nèi)酉到y(tǒng)到精密分析儀器的每一個(gè)環(huán)節(jié)均建立了標(biāo)準(zhǔn)的操作程序，確保分析結(jié)果準(zhǔn)確可靠，為正帆科技生產(chǎn)高純特種氣體提供保障。
正帆科技依據(jù)工藝安全14大要素要求，遵循本質(zhì)安全設(shè)計(jì)原則，評(píng)估氣體化學(xué)品系統(tǒng)危險(xiǎn)性和可操作性。通過(guò)工藝危害分析，識(shí)別評(píng)估可能存在的風(fēng)險(xiǎn)，并將技術(shù)要點(diǎn)反映在設(shè)計(jì)方案和操作規(guī)程中，為客戶(hù)設(shè)計(jì)并建造氣體、化學(xué)品監(jiān)控的軟硬件平臺(tái)，幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)物料供應(yīng)過(guò)程的自動(dòng)化安全控制與管理。
在設(shè)備層，正帆科技通過(guò)積累的各行業(yè)客戶(hù)供應(yīng)系統(tǒng)中的流程邏輯和經(jīng)驗(yàn)參數(shù)，在PLC程序中嵌入了制程安全互鎖，避免人為誤操作或工藝流程邏輯差錯(cuò)對(duì)系統(tǒng)壽命以及工作人員的生命安全造成危害；在管理層，通過(guò)采集工藝設(shè)備、偵測(cè)器等底層數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)運(yùn)行的數(shù)據(jù)記錄和中央監(jiān)控，為客戶(hù)提供狀態(tài)查詢(xún)、安全預(yù)警、維護(hù)提示、信息追溯等具體功能，提高生命安全和制程安全管理水平。
