超高純氣體輸送設備是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管以及光伏、光纖等泛半導體行業(yè)中關鍵的廠務設備之一。
正帆科技在高純氣體供應系統(tǒng)領域深耕多年，在泛半導體產(chǎn)業(yè)的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關鍵制程為客戶提供完整的氣體供應設備設計與制造的解決方案。正帆科技制造的氣體設備均經(jīng)過SEMI S2認證。
通過使用高潔凈度的部件，在可控的環(huán)境中以超高純施工工藝加工操作，以確保系統(tǒng)對氣體的二次污染被控制在PPB級別
以必要的安全裝備與控制系統(tǒng)來預防及緊急應對氣體意外泄漏帶來的危險
通過優(yōu)化的系統(tǒng)設計和嚴格的制造過程控制，確保設備能夠持續(xù)不間斷地以穩(wěn)定的壓力和流量輸送氣體
