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高純系統(tǒng)質量保障的核心在于從設計、制造到測試驗證的全過程微污染控制技術及全過程可追溯的質量管理體系建設。依托超高純流體輸送系統(tǒng)近20年的經驗及高純工藝系統(tǒng)微污染控制技術,流體系統(tǒng)設計與模擬仿真技術,正帆科技能夠為客戶提供各類定制化流體設備,包括高純度液態(tài)源輸送設備(LDS),大流量精密控制的液態(tài)源蒸發(fā)設備等。